第66章 双工件台 (第2/2页)

他先看了极紫外光源——光源组的人给他演示了出光，何院士盯着那束紫外光，沉默了很久，才说了一句："这束光，我等了二十年。"
　　
　　他又看了光学镜组的预装结构，用手轻轻拂过镜架，像是在抚摸一件失而复得的宝贝。
　　
　　"老陈那套镜组设计，我认识。"他说，"当年在硅谷，他就说过，总有一天要回来，造龙国自己的光刻机。"
　　
　　最后，他才停在工件台前，围着它走了三圈。
　　
　　"有意思。"他摘下眼镜，擦了擦，又重新戴上，"这个结构，是借鉴了艾斯摩尔的方案，但又改了不少。你们这套设计，底子不差。"
　　
　　"问题，出在基准台上。"他指着工件台的底座，"这个材料，热膨胀系数3.8×10⁻⁶。做普通机床，够用。做纳米级对准——差了两个数量级。"
　　
　　"何院士，有解吗？"王磊急切地问。
　　
　　"解，有。"何院士慢条斯理地说，"我们研究院，存着一套二十年前的方案——低热膨胀合金基准台。当年是为了国家光刻机项目备的料，项目停了，方案也封存了。"
　　
　　"封存了？"
　　
　　"封存了。"何院士笑了笑，"但图纸，还在。"
　　
　　他转身，从随身的公文包里，小心翼翼地掏出一个牛皮纸档案袋。
　　
　　"这套方案，封存了二十年。"何院士把档案袋放在桌上，"今天，算是我把它，交到对的人手里了。"
　　
　　当晚，星辰光刻总装车间，灯火通明。
　　
　　何院士带来的团队，连夜把封存的基准台方案，与苏宇的系统图纸进行比对、整合。
　　
　　"何院士，您看这里——"王磊指着图纸上的一处结构，"这个补偿算法，我们能不能跟这个材料的热膨胀曲线做耦合？"
　　
　　"可以。"何院士眼睛一亮，"你小子，有想法！"
　　
　　"还有这里……"
　　
　　一老一少，就着一张图纸，聊得越来越投入。苏宇站在一旁，看着何院士眼里那束光，忽然有些出神。
　　
　　这位老人，等这台光刻机，怕是等了二十年。
　　
　　凌晨三点，王磊的声音从对讲机里传来，带着难以抑制的激动："苏总！基准台换装完成！重新联调！"
　　
　　"开始！"
　　
　　"工件台Y轴移动，误差——1.47纳米。"
　　
　　"X轴，误差——1.52纳米。"
　　
　　"精度，提升了一倍！"
　　
　　车间里，一片欢腾。陈博士激动得连说了三个"好"。何院士站在工件台旁，看着那组数据，眼眶微微泛红。
　　
　　"二十年……"他喃喃道，"这台机器，终于有人把它，接着造下去了。"
　　
　　他转过头，看着苏宇，忽然郑重地说了一句："小苏，我老头子没什么能给你的。就一句话——只要这台机器需要我，我何某人的这把老骨头，随叫随到。"
　　
　　苏宇心头一热："何院士，星辰光刻，永远是您的家。"
　　
　　何院士摆了摆手，目光却还黏在那台样机上，低声说："能看着它立起来……我这辈子，值了。"
　　
　　苏宇看着那组数据，却没有松懈。
　　
　　"何院士，1.5纳米，离目标还差三倍。"他说。
　　
　　"我知道。"何院士点了点头，"剩下的，靠两样东西——补偿算法，和这颗轴。"他指了指工件台的驱动轴，"算法，我们研究院有现成的。轴，就看你们王总的软件团队，能写多细了。"
　　
　　"那明天，继续。"苏宇说，"一天，一纳米。"
　　
　　1.5纳米，离0.5纳米，还有三倍的距离。
　　
　　"继续。"他说，"何院士的方案，还能往深里挖。今晚，我要看到1纳米以内。"
　　
　　"收到！"
　　
　　苏宇刚放下对讲机，手机就响了。是助理，声音带着一丝慌乱。
　　
　　"苏总！出事了！"
　　
　　"说。"
　　
　　"刚刚……台积光电发布全球公告——"助理的声音有些发紧，"宣布从即日起，暂停为龙国所有芯片设计公司提供代工服务！"
　　
　　苏宇的眼神，骤然一冷。
　　
　　"国内那几家芯片设计公司……"助理的声音都在发抖，"全都慌了！他们找不到代工厂，订单全要烂在手里！有些小公司，可能撑不过这个月！"
　　
　　车间里，欢呼声还在继续。
　　
　　苏宇站在窗边，看着窗外沉沉的夜色，眼底的寒意，一点点漫上来。
　　
　　"台积光电……"他缓缓重复了一遍这个名字，"真以为，断掉代工，就能掐死龙国的芯片？"
　　
　　他转过身，目光扫过那台正在重新联调的光刻机样机，忽然笑了一下。
　　
　　消息传到星抖，热搜瞬间爆了。
　　
　　"台积光电断供代工？他们疯了？！"
　　
　　"龙国几十家芯片设计公司，全要被卡死！"
　　
　　"完了完了，国产芯片要全军覆没了……"
　　
　　恐慌情绪，一夜之间席卷全网。
　　
　　而在星辰总部，苏宇看着手机上那一条条哀嚎的热搜，神色平静。
　　
　　他拨通了张启明的电话："启明，明天上午，通知国内所有芯片设计公司——冰芯，开放产能接单。"
　　
　　"明天？"张启明愣了一下，"苏总，冰芯的量子芯片产线，刚跑通……"
　　
　　"我知道。"苏宇说，"所以明天，才是最好的时机。"
　　
　　"他们越是恐慌，我们就越要站出去。"
　　
　　电话那头，张启明沉默了两秒，声音透出笑意："好啊。"
　　
　　"那就让他们看看——龙国，到底是谁说了算。"