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第一千七百六十二章芯片制程的设备缺口

第一千七百六十二章芯片制程的设备缺口 (第1/2页)

“人已经捆在隔壁审讯椅上了,陈总工他们还在三楼实验室熬夜核对晶圆良率,一点动静都没听见。”
  
  彪子守在研究院地下室的铁门旁,手里掂着一把带血的铁钳子,冲着刚下台阶的李山河努了努嘴。
  
  李山河没进审讯室,先推开旁边的资料间,赵刚正把从副科长身上搜出来的公文包倒在桌上,几张印着德文参数的镜头图纸散落开来。
  
  “问清楚了,联系他的是港岛一家叫莱茵精密的皮包公司,知道咱们山河一号光刻胶量产成功,专门递来这套零点五微米制程的深紫外物镜参数,开价只要市面的一半。”
  
  “天底下哪有掉馅饼的好事,西方巴统组织把这种高端光刻物镜列为头号禁运品,别说半价,就是拿金条去砸,正规渠道也买不回一片镜片。”
  
  “那小子也是因为陈总工催镜头催得急,一时鬼迷心窍,对方说只要拿山河保密室里的任意三份绝密档案去换,下个月就能在公海交货。”
  
  “把这小子和那家皮包公司的底细全转给老周的反间谍专班,顺着这条线去港岛抓人,咱们不跟这种小虾米耗时间。”
  
  李山河拿起桌上那张德文镜头图纸,转身走上三楼的无尘实验室外间。
  
  隔着双层观察窗,陈守仁和苏联专家伊万正围在一台老式曝光机前,两人对着放大镜下的硅片直摇头,实验室的废料桶里已经扔了大半桶刻废的晶圆。
  
  听到外间门响,陈守仁摘下防尘口罩走了出来,眼眶熬得通红,手里还捏着半截断掉的铅笔。
  
  “李总,您怎么半夜过来了,是不是平房区那边的百路机出什么岔子了?”
  
  “平房区好着呢,一个月一千台不在话下,我是来看看你们这边的逻辑芯片,到底卡在哪个脖子上了。”
  
  “还能是哪儿,咱们的山河一号光刻胶耐温性好,分辨率也够,可现在用的这台曝光机还是八十年代初的接触式老古董,镜头边缘畸变太大,刻出来的线条全糊在一块儿了!”
  
  陈守仁把手里的笔记本摊在桌上,上面密密麻麻列着十几项光学镜头的采购指标,有好几行已经被红笔划破了纸背。
  
  “我托以前在科学院的老同学四处打听,想要把咱们的通信芯片制程推到一微米以下,非得用高数值孔径的深紫外石英物镜不可,可日本尼康和德国蔡司全把咱们拉进黑名单了。”
  
  “买不到现成的整机镜头,咱们自己找光学厂磨镜片行不行,国内不是有好几家老牌光学仪器厂吗?”
  
  “我上个月就去过长春了,国内缺那种零膨胀系数的特种萤石晶体,而且没有纳米级的离子束抛光机床,靠老师傅手工研磨,磨出来的镜片根本达不到深紫外光的聚焦精度。”
  
  伊万也扯下头套从里间走了出来,从白大褂兜里摸出扁酒壶灌了一口,用袖子擦了擦胡子上的酒水。
  
  “李,你不用在西方人的目录里找了,蔡司厂现在用的那套非球面镜片镀膜工艺,早在七年前,我们列宁格勒和莫斯科的光学研究所就已经在军用侦察卫星上用熟了!”
  
  

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